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天域半導(dǎo)體碳化硅基地廢氣治理

    天域半導(dǎo)體是國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)里,排名前三的碳化硅外延片制造商,其在生產(chǎn)過程中外延檢修、清洗、供應(yīng)間廢氣,廢氣成分主要為非甲烷總烴、多種酸霧、氨氣等,采用預(yù)處理+兩級(jí)活性炭深度吸附和酸堿塔吸收治理工藝。

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